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光谱共焦关于晶圆薄膜厚度测量

2023-06-09

如下图所示：要求测量黄色晶圆薄膜的厚度

通过了解客户的需求知道测量薄膜精度要求μm级别，根据客户要求及产品观察技术人员选用，D15A32搭配H4UO三分之一量程控制器，D15A32具有超小的光斑尺寸，带来更高的线性精度和更高的分辨率，适合测量对分辨率高的粗糙度。

通过扫描测量可以看出其薄膜厚度13.914μm

（重复精度）

我们的光谱共焦位移传感器产品重复精度可达10nm级别，最薄可测8μm，测量角度可达±60°。

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