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气浮轴承直线电机平台
       
 
 
 
 
ABL1000/最大150mm/±50nm   ABL1500/最大0.5m/±0.05μm   ABL2000/最大1m/±0.2μm   ABL3600/XY:250mm/±0.2μm   ABL8000/最大1m/±0.2μm
             
 
           
ABL9000/最大1.2m/±0.1μm   PlanarHD/500mm/±50nm            
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
                 
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