Aerotech的ABRT系列旋转空气轴承级具有好的角度定位、速度稳定性和误差运动性能，同时具有好的有效载荷能力和好的径向和轴向刚度。ABRT旨在满足晶圆检测、高精度计量应用、X射线衍射系统、光学检测和制造以及微机电系统/纳米技术器件制造的严格要求。
ABRT设计具有大的空气轴承表面和创新的预加载功能，具有高刚度和高承载能力，不仅产生好的轴向和径向误差运动，还产生好的倾斜误差运动。由此产生的性能好其他旋转空气轴承工作台和主轴，有利于需要特殊平面性能的应用。此外，该镜台系列提供了一个透明孔径，可用于产品馈通、激光束输送、电缆间隙或特定应用要求。
为了大限度地提高定位性能，ABRT系列采用了Aerotech s系列无槽无刷电机的优化版本。该电机采用好的磁路设计，以小的热量产生高扭矩输出。无槽设计是固有的零齿槽和扭矩波纹自由。这使得ABRT阶段非常适合在低速或高速下需要平滑扫描速度的应用。
光学编码器是ABRT的标准配置。当与Aerotech的反馈乘法器和控制器相结合时，可以实现<0.03弧秒的分辨率。
ABRT的自定义版本可用于满足速率表和高精度惯性制导试验台的应用。还提供滑环和旋转活接头等其他功能。
Aerotech生产各种伺服放大器和高级控制器，以提供完整的集成封装。 |
