| 概要 |
平滑运动，紧凑外形
由于采用了一体化双轴设计，我们的超紧凑型ANT95XY载物台提供了高的平面性能和高的几何特性。ANT95XY载物台配备了高刚度交叉滚柱轴承、高分辨率位置反馈和无铁线性电机，可实现同类产品中平滑、准确的运动，可通过高精度2D校准进一步增强，以优化您的高精度检测或制造过程。 |
| 特征 |
·增强型第二代设计
·实现小增量运动至0.5 nm-新
·采用一体化XY设计，优化正交性、平直度和平整度
·使用ULTRA校准选项，保证二维精度达到±200 nm或更高
·采用高精度交叉滚柱轴承，实现高的动态性能和AMPLE负载能力
·使用无铁直接驱动直线电机大限度地提高工艺吞吐量和可靠性
·可轻松集成到多轴组件和运动子系统中
·提供绝对值和超高分辨率增量编码器选项 |
| 典型应用 |
ANT95XY是要求高精度和动态定位性能的多轴应用的理想选择，包括：
光子组装和检查
光纤对准和优化
光学器件制造、测试和检验
传感器测试和鉴定
半导体加工和检验
研究和实验室应用 |
| 技术概述 |
| ANT130XY |
单位 |
ANT130XY-060 |
ANT130XY-110 |
ANT130XY-160 |
| 行程 |
mm |
25x25 |
110x110 |
160x160 |
| 精度 |
PL1 |
μm |
±2.5 |
±4.0 |
±5.0 |
| PL3 |
±250nm(E1/E2/E3) |
±300nm(E1/E2/E3) |
±300nm(E1/E2/E3) |
| ±200nm(E4) |
±225nm(E4) |
±225nm(E4) |
| PL4 |
±250nm(E1/E2/E3) |
±300nm(E1/E2/E3) |
±300nm(E1/E2/E3) |
| ±200nm(E4) |
±225nm(E4) |
±225nm(E4) |
| 分辨率（最小增量运动） |
nm |
E1:1nm/E3:5nm/E4:0.5nm |
| 双向重复性 |
nm |
±75 |
| 水平直线度 |
PL1 |
μm |
±1.5 |
±1.5 |
±2.0 |
| PL3 |
μm |
±1.5 |
±1.5 |
±2.0 |
| PL4 |
nm |
±250 |
±300 |
±300 |
| 垂直直线度(1) |
PL1 |
μm |
±1.5 |
±1.5 |
±2.0 |
| PL3 |
μm |
±1.5 |
±1.5 |
±2.0 |
| PL4 |
μm |
±1.0 |
±1.0 |
±1.0 |
| 仰俯 |
arc sec |
10 |
12 |
15 |
| 滚摆 |
arc sec |
10 |
12 |
15 |
| 偏航 |
arc sec |
5 |
6 |
8 |
| 正交 |
PL1 |
arc sec |
10 |
10 |
10 |
| PL3 |
arc sec |
3 |
3 |
3 |
| PL4 |
arc sec |
1 |
0.5 |
0.5 |
| 最大速度(2) |
mm/s |
E1E3E4:350mm/s/E2:145mm/s |
| 最大加速度-无负载-上轴 |
g |
1 |
1 |
1 |
| 定位稳定性 |
nm |
E1:＜1nm/E3:＜5nm/E4:＜0.5nm |
| 负载能力 |
水平 |
kg |
12 |
12 |
12 |
| 移动质量 |
上轴 |
kg |
1.4 |
1.9 |
2.3 |
| 下轴 |
kg |
4.2 |
5.6 |
6.9 |
| 平台质量 |
kg |
5.7 |
7.5 |
9.2 |
| 材料 |
- |
阳极氧化铝 |
| MTBF（平均故障间隔时间） |
h |
30000 |
注释：
1.通过每个阶段的认证。
2.定位稳定性报告为3西格玛值。需要1 Vpp编码器。
3.有效载荷规格假定有效载荷以轴为中心。
4.规格适用于在滑块上方25mm处测量的单轴系统。组合多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。多轴或非标准应用请咨询工厂。
5.PLUS需要使用Aerotech控制器。
6.确保规范的实现性和可重复性 |
| 尺寸 |
| 详见样本 |
| |
